Н. И. Файнер, А. Г. Плеханов, Е. А. Максимовский, Ю. М. Румянцев
{"title":"ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЙ СИНТЕЗ ТОНКИХ ПЛЕНОК ГИДРОГЕНИЗИРОВАННОГО ОКСИКАРБОНИТРИДА КРЕМНИЯ ИЗ ГАЗОВОЙ СМЕСИ МЕТИЛТРИС(ДИЭТИЛАМИНО)СИЛАНА, АЗОТА И КИСЛОРОДА","authors":"Н. И. Файнер, А. Г. Плеханов, Е. А. Максимовский, Ю. М. Румянцев","doi":"10.1134/s0132665118070053","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"","PeriodicalId":296440,"journal":{"name":"Физика и химия стекла","volume":"12 1","pages":"0"},"PeriodicalIF":0.0000,"publicationDate":"1900-01-01","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"0","resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"Физика и химия стекла","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.1134/s0132665118070053","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"","JCRName":"","Score":null,"Total":0}
京公网安备 11010802042870号
京ICP备2023020795号-1
分享
求助内容：
应助结果提醒方式：
扫码关注我们
