Скрайбирование кремниевых приборных пластин лазерным излучением в водной среде

ФОТОНИКА-2021 : ТЕЗИСЫ ДОКЛАДОВ РОССИЙСКОЙ КОНФЕРЕНЦИИ И ШКОЛЫ МОЛОДЫХ УЧЕНЫХ ПО АКТУАЛЬНЫМ ПРОБЛЕМАМ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ФОТОЭЛЕКТРОНИКИ Pub Date : 2021-09-27 DOI:10.34077/rcsp2021-154

А.Р. Новоселов

{"title":"Скрайбирование кремниевых приборных пластин лазерным излучением в водной\nсреде","authors":"А.Р. Новоселов","doi":"10.34077/rcsp2021-154","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"Исследовано воздействие процесса скрайбирования лазерным излучением в водной среде на\nкремниевые СБИС, применяемые в гибридных фотоприёмниках инфракрасного излучения.\nОсобенностью лазерного скрайбирования в водной среде является быстрое охлаждение расплава\nводой и, как результат, полное отсутствие расплава в канавке и на поверхности приборной пластины.","PeriodicalId":356596,"journal":{"name":"ФОТОНИКА-2021 : ТЕЗИСЫ ДОКЛАДОВ РОССИЙСКОЙ КОНФЕРЕНЦИИ И ШКОЛЫ МОЛОДЫХ УЧЕНЫХ ПО АКТУАЛЬНЫМ ПРОБЛЕМАМ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ФОТОЭЛЕКТРОНИКИ","volume":"158 1","pages":"0"},"PeriodicalIF":0.0000,"publicationDate":"2021-09-27","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"0","resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"ФОТОНИКА-2021 : ТЕЗИСЫ ДОКЛАДОВ РОССИЙСКОЙ КОНФЕРЕНЦИИ И ШКОЛЫ МОЛОДЫХ УЧЕНЫХ ПО АКТУАЛЬНЫМ ПРОБЛЕМАМ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ФОТОЭЛЕКТРОНИКИ","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.34077/rcsp2021-154","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"","JCRName":"","Score":null,"Total":0}

引用次数: 0

Abstract

Исследовано воздействие процесса скрайбирования лазерным излучением в водной среде на кремниевые СБИС, применяемые в гибридных фотоприёмниках инфракрасного излучения. Особенностью лазерного скрайбирования в водной среде является быстрое охлаждение расплава водой и, как результат, полное отсутствие расплава в канавке и на поверхности приборной пластины.

查看原文