Sintesis dan Karakterisasi Sifat Optik Material Feroelektrik Barium Zirkonium Titanat (BaZr0,5Ti0,5O3) dengan Variasi Suhu Kalsinasi

Abstract

Dalam penelitian ini, film tipis material feroelektrik Barium Zirkonium Titanat (BaZr0,5Ti0,5O3) disintesis dan pengaruh variasi suhu annealing terhadap sifat optiknya dipelajari. Film tipis BaZr0,5Ti0,5O3 ditumbuhkan di atas substrat Silikon (Si (100)) menggunakan metode Chemical Solution Deposition (CSD) dengan bantuan perangkat spin coater. Film tipis yang telah dibuat kemudian di-annealing pada tiga suhu berbeda (750 oC, 800 oC dan 850 oC). Karakterisasi sifat optik dari film tipis yang telah dibuat dilakukan menggunakan Spektrometer Ultraviolet-Visible (UV-Vis) Ocean Optics USB4000. Hasil karakterisasi menunjukkan bahwa film tipis BaZr0,5Ti0,5O3 yang dibuat memiliki nilai reflektansi yang tinggi pada panjang gelombang cahaya tampak dan nilai koefisien absorbansi yang tinggi pada panjang gelombang cahaya ultraviolet (UV). Nilai bandgap pada masing-masing film tipis BaZr0,5Ti0,5O3 dengan suhu annealing 750 oC, 800 oC dan 850 oC adalah 3,04 eV, 3,07 eV dan 3,22 eV. Semakin tinggi suhu annealing maka semakin tinggi nilai bandgap yang dihasilkan. Dari hasil yang diperoleh, terlihat bahwa film tipis BaZr0,5Ti0,5O3 yang dihasilkan memiliki sifat semikonduktor dan berpotensi digunakan sebagai sensor atau komponen elektronik yang bekerja memanfaatkan energi pada panjang gelombang cahaya ultraviolet.