硅基微电子学冶金

D. Mangelinck, O. Thomas
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摘要

微电子学是将数十亿个晶体管组装在一块芯片上,并借鉴了自20世纪60年代以来发展起来的非常复杂的技术。由此产生的信息处理速度和能力的提高是数字革命的根源。人们常常忘记,这种发展在很大程度上是基于对材料的掌握,特别是金属及其衍生物,无论是在扩散屏障的工程中,还是在金属互连的工程中。本文的目的是通过几个例子来回顾金属加工对这一工业部门发展的重要贡献。
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Métallurgie pour la microélectronique à support silicium
La microelectronique repose sur l’assemblage de milliards de transistors sur une meme puce et releve de technologies tres complexes qui se sont developpees depuis les annees 1960. L’augmentation de la vitesse et de la puissance de traitement d’information qui en resulte est a l’origine de la revolution numerique. On oublie souvent que ce developpement repose en grande partie sur la maitrise des materiaux et tout particulierement des metaux et de leurs derives, que ce soit dans l’ingenierie des barrieres de diffusion ou dans celles des interconnexions metalliques. Cet article a pour objectif de rappeler a travers quelques exemples la contribution essentielle de la metallurgie au developpement de ce secteur industriel.
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