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电子工业专用设备

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发文信息 投稿信息 同类期刊
电子工业专用设备
中文名称:
电子工业专用设备
英文名称:
Equipment for Electronic Products Manufacturing
曾用名:
半导体设备
CN:
62-1077/TN
影响因子:
期刊影响因子(Impact factor,IF) 即某刊平均每篇论文的被引用数,是表征期刊影响大小的一项定量指标,它实际上是某刊在某年被全部源刊物引证该刊前两年发表论文的次数,与该刊前两年所发表的全部源论文数之比。
0.253 反馈 反馈
ISSN:
ISSN是由8个数字组成的编码,旨在识别各种报纸、专业杂志、画报、期刊,无论其性质或载体版本(纸版及电子版)。
1004-4507
期刊官网:
主管:
中国电子科技集团公司
主办单位:
中国电子科技集团第四十五研究所
CiteScore:
引用分数(英语:CiteScore,CS)是一种用来反映学术期刊最近发表文章“年平均被引用次数”的衡量指标。该指标由Elsevier于 2016 年 12 月推出,以替代常用的JCR影响因子(由Clarivate计算)。 CiteScore是Scopus中系列期刊指标的一部分,包括 SNIP(源文档标准化影响),SJR (SClmago杂志排名),引用文档计数以及引用百分比。
CiteScoreSJRSNIPCiteScore排名
0.00.1000.000
学科
排名
百分位
大类:Engineering
小类:Electrical and Electronic Engineering
787 / 797
0%

发文信息

发文量:
5510
被引量:
12799

投稿信息

出版周期:
双月
出版语言:
中文
邮政编码:
100029
Email:
faith_epe@sohu.net
投稿网址:
编辑部地址:
北京市

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The Next Generation Lithography

Pub Date : 2005-01-01 DOI: 10.1016/s0961-1290(05)71100-5 Yu Guo-bing
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