International Conference on Extreme Ultraviolet Lithography 2021

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Front Matter: Volume 11854

Pub Date : 2021-10-22 DOI: 10.1117/12.2617273

Photochemical study of metal infiltrated e-beam resist using vapor-phase infiltration for EUV applications

Pub Date : 2021-09-30 DOI: 10.1117/12.2601033 S. Hwang, Aditya Raja Gummadavelly, Dan N. Le, Y. Jung, J. Veyan, Nikhil Tiwale, C. Nam, Jinho Ahn, Jiyoung Kim

High-brightness LDP EUV source for EUV mask inspection

Pub Date : 2021-09-30 DOI: 10.1117/12.2600974 N. Ashizawa, Y. Sato, H. Watanabe, Y. Teramoto, T. Shirai, S. Morimoto, Hironobu Yabuya, Kazuya Aoki, D. Yajima, A. Nagano

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