Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS

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Pub Date : 2000-04-10 DOI: 10.1117/12.382307 Sitaraman V. Iyer, T. Mukherjee

Pub Date : 2000-04-10 DOI: 10.1117/12.382283 C. Rubio, S. Bota, J. G. Macías, J. Samitier

Pub Date : 2000-04-10 DOI: 10.1117/12.382320 D. Cristea, F. Craciunoiu, M. Caldararu

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