2018 IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)

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PORT: A piezoelectric optical resonance tuner

Pub Date : 2019-03-20 DOI: 10.1109/MEMSYS.2018.8346661 B. Dong, Hao Tian, M. Zervas, T. Kippenberg, S. Bhave

Fast and controllable elastocapillary flow channels using suspended membranes

Pub Date : 2018-04-26 DOI: 10.1109/MEMSYS.2018.8346769 S. Fishlock, David Steele, S. Puttaswamy, G. Lubarsky, César Navarro, William P. Burns, J. McLaughlin

Resonant pressure sensing using a micromechanical cantilever actuated by fringing electrostatic fields

Pub Date : 2018-04-26 DOI: 10.1002/HTTPS://DOI.ORG/10.1109/MEMSYS.2018.8346688 N. Krakover, B. R. Hic, S. Krylov

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