2007 IEEE 20th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)

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发文信息

Pub Date : 2007-12-11 DOI: 10.1109/MEMSYS.2007.4432960 G. K. Ho, J. Perng, F. Ayazi

Pub Date : 2007-12-01 DOI: 10.1109/MEMSYS.2007.4433045 H. Onoe, E. Iwase, K. Matsumoto, I. Shimoyama

Pub Date : 2007-12-01 DOI: 10.1109/MEMSYS.2007.4433087 S. Murao, S. Takamatsu, B. Nguyen, E. Iwase, K. Matsumoto, I. Shimoyama

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