{"title":"СИСТЕМА НАНОПОЗИЦИОНИРОВАНИЯ ДЛЯ ФИЗИЧЕСКОГО ЭКСПЕРИМЕНТА","authors":"Д.И. Яминский, И.В. Яминский","doi":"10.22184/1993-8578.2023.16.5.266.270","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"Разработана двухступенчатая система нанопозиционирования по трем координатам X, Y\nи Z с точностью до 0,1 нм. Система нанопозиционирования предназначена для использования в сканирующей зондовой микроскопии, оптической микроскопии сверхвысокого разрешения и микролинзовой микроскопии. В статье рассмотрен пример построения сканирующего капиллярного микроскопа на основе разработанной системы прецизионных перемещений.","PeriodicalId":223196,"journal":{"name":"Nanoindustry Russia","volume":"3 1","pages":"0"},"PeriodicalIF":0.0000,"publicationDate":"2023-08-31","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"0","resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"Nanoindustry Russia","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.22184/1993-8578.2023.16.5.266.270","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"","JCRName":"","Score":null,"Total":0}
引用次数: 0
Abstract
Разработана двухступенчатая система нанопозиционирования по трем координатам X, Y
и Z с точностью до 0,1 нм. Система нанопозиционирования предназначена для использования в сканирующей зондовой микроскопии, оптической микроскопии сверхвысокого разрешения и микролинзовой микроскопии. В статье рассмотрен пример построения сканирующего капиллярного микроскопа на основе разработанной системы прецизионных перемещений.