ЛИНЕЙНЫЙ НАНОИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ ГОЛОГРАФИЧЕСКИЙ ДАТЧИК

Abstract

Линейный наноизмерительный голографический датчик (ЛНГД) относится к измерительной технике, точнее к области высокоточных измерений длин и перемещений линейными голографическими датчиками на базе голографических дифракционных решеток (ГДР), и может быть использован в машиностроении для прецизионного оборудования, в том числе и станочном, в оптико-механической и аэрокосмической промышленности для измерения концевых мер и т.д. Увеличена точность и разрешение ЛНГД при измерении линейных размеров во всем измеряемом диапазоне перемещений до метра и более, вне зависимости от качества направляющих системы. Таким образом, имеет место расширение диапазона обрабатываемых или исследуемых объектов при сохранении высокой точности и разрешения измерительной системы.