А.И. Арефьев, В.Н. Горнов, Л.Е. Пешкичева, О. С. Юрченко, Л.Е. Гусс, А.В. Савельев, Антон Петрович Котов
{"title":"ИЗГОТОВЛЕНИЕ ЛАЗЕРНЫХ МИШЕНЕЙ МЕТОДАМИ ВАКУУМНОГО НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ","authors":"А.И. Арефьев, В.Н. Горнов, Л.Е. Пешкичева, О. С. Юрченко, Л.Е. Гусс, А.В. Савельев, Антон Петрович Котов","doi":"10.22184/1993-8578.2023.16.5.256.264","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"В статье представлены результаты отработки технологии изготовления многослойных\nтонкопленочных лазерных мишеней. Приведены результаты исследования как исходных материалов, использованных для изготовления мишеней, так и полученных образцов тонких пленок.","PeriodicalId":223196,"journal":{"name":"Nanoindustry Russia","volume":" 2","pages":"0"},"PeriodicalIF":0.0000,"publicationDate":"2023-08-31","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"0","resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"Nanoindustry Russia","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.22184/1993-8578.2023.16.5.256.264","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"","JCRName":"","Score":null,"Total":0}
引用次数: 0
Abstract
В статье представлены результаты отработки технологии изготовления многослойных
тонкопленочных лазерных мишеней. Приведены результаты исследования как исходных материалов, использованных для изготовления мишеней, так и полученных образцов тонких пленок.
京公网安备 11010802042870号
京ICP备2023020795号-1
分享
求助内容：
应助结果提醒方式：
扫码关注我们
