宽度与曲率双渐变型低损耗硅基弯曲光波导设计

Abstract

采用内、外曲线分别为圆形弯曲和欧拉-圆形弯曲曲线，以及内、外曲线分别为欧拉-圆形弯曲和欧拉弯曲曲线，提出并优化了两种曲率与宽度双渐变的硅基单模弯曲光波导结构。采用有限时域差分对提出的两种弯曲光波导结构进行了仿真优化，并与圆形弯曲、欧拉弯曲、欧拉-圆形弯曲和贝塞尔弯曲光波导的性能进行了比较。结果表明在等效弯曲半径为2 μm时，内、外曲线分别为圆形弯曲和欧拉-圆形弯曲的弯曲光波导损耗值仅为0.005 6 dB/90°，且具有低的损耗波长相关性。