大数值孔径宽光谱折反式物镜设计(特邀)
严冬 Yan Dong, 国成立 Guo Chengli, 刘泉 Liu Quan, 黎发志 Li Fazhi, 余晨阳 Yu Chenyang, 马洋 Ma Yang, 张宇龙 Zhang Yulong, 闫力松 Yan Lisong
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大数值孔径宽光谱折反式物镜设计(特邀)
为了满足半导体缺陷检测系统对成像系统高分辨的要求,依据系统的特点和设计指标,设计了一种近紫外-可见光大数值孔径折反式物镜。在近紫外-可见光波段对光学玻璃材料的色散特性进行分析,通过二级光谱理论计算,选择合适的玻璃材料,对光学系统的二级光谱进行了校正。该物镜使用11片球面透镜,结构紧凑。设计出一套光谱范围为360~520 nm、数值孔径为0.9、焦距为5.65 mm、视场大小为0.8 mm、工作距离为0.8 mm的物镜,采用无限远共轭折反式结构。设计结果表明:该物镜的MTF较好,全视场波像差小于0.09λ(λ=632.8 nm),各种几何像差均得到了较好的校正,满足复消色差条件,并且结构简单,具有较长的工作距离,为实际的生产装配和应用提供了便利。
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