{"title":"Surface‐Inspection‐Pad (SIP)","authors":"Michael Wahl, Wolfgang Bock, Michael Kopnarski","doi":"10.1002/vipr.202300808","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"Zusammenfassung Das Surface‐Inspection‐Pad, kurz SIP, bietet eine kostengünstige und ressourcenschonende Alternative zur Probennahme für eine vakuumgestützte Kontaminationskontrolle von Bauteiloberflächen. Die Analyse der Oberflächenchemie des Bauteils erfolgt dann durch die Analyse der SIP‐Oberfläche. Zur Analyse kann neben anderen Methoden insbesondere die oberflächensensitive Flugzeit‐Sekundärionen‐Massenspektrometrie (ToF‐SIMS) verwendet werden. Die zu untersuchenden Bauteile müssen somit nicht mehr aus dem Prozess entfernt und für die Analyse zerstört werden. Der Anwendende kann so enorme Kosten einsparen. Weiterhin können SIPs für die Kontaminationskontrolle in Schmierstoffkreisläufen und Flüssigkeiten eingesetzt werden. Silikonöl (PDMS) wird dabei in Flüssigkeiten bisher mit einer Nachweisgrenze von unter 10 –6 (ppm) nachgewiesen.","PeriodicalId":42842,"journal":{"name":"Vakuum in Forschung und Praxis","volume":null,"pages":null},"PeriodicalIF":0.4000,"publicationDate":"2023-10-01","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"0","resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"Vakuum in Forschung und Praxis","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.1002/vipr.202300808","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"Q4","JCRName":"ENGINEERING, MECHANICAL","Score":null,"Total":0}
引用次数: 0
Abstract
Zusammenfassung Das Surface‐Inspection‐Pad, kurz SIP, bietet eine kostengünstige und ressourcenschonende Alternative zur Probennahme für eine vakuumgestützte Kontaminationskontrolle von Bauteiloberflächen. Die Analyse der Oberflächenchemie des Bauteils erfolgt dann durch die Analyse der SIP‐Oberfläche. Zur Analyse kann neben anderen Methoden insbesondere die oberflächensensitive Flugzeit‐Sekundärionen‐Massenspektrometrie (ToF‐SIMS) verwendet werden. Die zu untersuchenden Bauteile müssen somit nicht mehr aus dem Prozess entfernt und für die Analyse zerstört werden. Der Anwendende kann so enorme Kosten einsparen. Weiterhin können SIPs für die Kontaminationskontrolle in Schmierstoffkreisläufen und Flüssigkeiten eingesetzt werden. Silikonöl (PDMS) wird dabei in Flüssigkeiten bisher mit einer Nachweisgrenze von unter 10 –6 (ppm) nachgewiesen.
期刊介绍：
VIP – Vakuum in Forschung und Praxis - Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflächen und Dünne Schichten ist die einzige Zeitschrift für alle Bereiche der Vakuumtechnologie und Dünnschichttechnik, die sich als Brücke und Bindeglied zwischen Wissenschaftlern, Praktikern und Anwendern aus Forschung, Entwicklung und Produktion versteht. Sie berichtet und informiert über neueste Entwicklungen und Erkenntnisse. VIP – Vakuum in Forschung und Praxis veröffentlicht u.a. - Übersichtsartikel - Fachaufsätze - referierte Beiträge aus der Forschung - Anwenderberichte - Produktinformationen - Interviews - Buchbesprechungen und -hinweise - Produkt- und Lieferantenverzeichnis
京公网安备 11010802042870号
京ICP备2023020795号-1
分享
求助内容：
应助结果提醒方式：
扫码关注我们
