{"title":"Ein neues hochgenaues und zuverlässiges Ionisationsvakuummeter","authors":"Karl Jousten","doi":"10.1002/vipr.202300806","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"Zusammenfassung Ein neuartiges Ionisationsvakuummeter bietet eine Lösung für die bisher unzureichende Stabilität kommerziell erhältlicher Geräte und ermöglicht vorhersagbare Empfindlichkeiten. Dies wird durch eine geradlinige Führung der ionisierenden Elektronen auf ihrem Weg durch den Ionisationsraum ermöglicht. Das neue Hochvakuum‐messgerät ist für Anwendungen als Referenzmessgerät und in Prozessanlagen, bei denen hohe Reproduzierbarkeit gefordert ist, geeignet. Selbst ohne Kalibrierung bietet das Gerät eine Messunsicherheit von unter 5% und ist daher sowohl für Hersteller wie für Anwender auch kommerziell interessant.","PeriodicalId":42842,"journal":{"name":"Vakuum in Forschung und Praxis","volume":null,"pages":null},"PeriodicalIF":0.4000,"publicationDate":"2023-10-01","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"0","resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"Vakuum in Forschung und Praxis","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.1002/vipr.202300806","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"Q4","JCRName":"ENGINEERING, MECHANICAL","Score":null,"Total":0}
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Abstract
Zusammenfassung Ein neuartiges Ionisationsvakuummeter bietet eine Lösung für die bisher unzureichende Stabilität kommerziell erhältlicher Geräte und ermöglicht vorhersagbare Empfindlichkeiten. Dies wird durch eine geradlinige Führung der ionisierenden Elektronen auf ihrem Weg durch den Ionisationsraum ermöglicht. Das neue Hochvakuum‐messgerät ist für Anwendungen als Referenzmessgerät und in Prozessanlagen, bei denen hohe Reproduzierbarkeit gefordert ist, geeignet. Selbst ohne Kalibrierung bietet das Gerät eine Messunsicherheit von unter 5% und ist daher sowohl für Hersteller wie für Anwender auch kommerziell interessant.
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VIP – Vakuum in Forschung und Praxis - Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflächen und Dünne Schichten ist die einzige Zeitschrift für alle Bereiche der Vakuumtechnologie und Dünnschichttechnik, die sich als Brücke und Bindeglied zwischen Wissenschaftlern, Praktikern und Anwendern aus Forschung, Entwicklung und Produktion versteht. Sie berichtet und informiert über neueste Entwicklungen und Erkenntnisse. VIP – Vakuum in Forschung und Praxis veröffentlicht u.a. - Übersichtsartikel - Fachaufsätze - referierte Beiträge aus der Forschung - Anwenderberichte - Produktinformationen - Interviews - Buchbesprechungen und -hinweise - Produkt- und Lieferantenverzeichnis
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