{"title":"Modelowanie sił tłumiących występujących w prostych układach MEMS","authors":"K. Urbanowicz","doi":"10.5604/12345865.1186348","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"Streszczenie. w mikroukładach mechanicznych określanych skrótem mEmS występują pewne siły tłumiące. na etapie projektowania układów tego typu wartości tych sił muszą zostać dokładnie oszacowane. Jak ukazane zostanie w niniejszej pracy, w układach pracujących z niskimi częstotliwościami najważniejszą siłą będzie siła lepka związana z wypływaniem filmu powietrznego spod pracujących płytek układów. Siłę tę można z dużą dokładnością szacować metodami analitycznymi znanymi z literatury. w poniższej pracy ukazane zostaną znane rozwiązania analityczne stosowane często w praktyce dla prostych płytek. wykonane zostaną również proste symulacje zarówno z wykorzystaniem opisanych rozwiązań analitycznych, jak i z użyciem specjalistycznego programu o nazwie comsol multiphysics. Przeprowadzone badania analityczno-numeryczne wykażą skuteczność oprogramowania numerycznego. Słowa kluczowe: mEmS, siły tłumiące, równanie reynoldsa, modelowanie, symulowanie DOI: 10.5604/12345865.1186348","PeriodicalId":9068,"journal":{"name":"Biuletyn Wojskowej Akademii Technicznej","volume":"64 1","pages":"165-189"},"PeriodicalIF":0.0000,"publicationDate":"2015-12-30","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"1","resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"Biuletyn Wojskowej Akademii Technicznej","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.5604/12345865.1186348","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"","JCRName":"","Score":null,"Total":0}
引用次数: 1
Abstract
Streszczenie. w mikroukładach mechanicznych określanych skrótem mEmS występują pewne siły tłumiące. na etapie projektowania układów tego typu wartości tych sił muszą zostać dokładnie oszacowane. Jak ukazane zostanie w niniejszej pracy, w układach pracujących z niskimi częstotliwościami najważniejszą siłą będzie siła lepka związana z wypływaniem filmu powietrznego spod pracujących płytek układów. Siłę tę można z dużą dokładnością szacować metodami analitycznymi znanymi z literatury. w poniższej pracy ukazane zostaną znane rozwiązania analityczne stosowane często w praktyce dla prostych płytek. wykonane zostaną również proste symulacje zarówno z wykorzystaniem opisanych rozwiązań analitycznych, jak i z użyciem specjalistycznego programu o nazwie comsol multiphysics. Przeprowadzone badania analityczno-numeryczne wykażą skuteczność oprogramowania numerycznego. Słowa kluczowe: mEmS, siły tłumiące, równanie reynoldsa, modelowanie, symulowanie DOI: 10.5604/12345865.1186348
京公网安备 11010802042870号
京ICP备2023020795号-1
分享
求助内容：
应助结果提醒方式：
扫码关注我们
