{"title":"Modelowanie sił tłumiących występujących w układach perforowanych MEMS","authors":"K. Urbanowicz, Jakub Janczewski","doi":"10.5604/12345865.1186356","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"Streszczenie. na pracę wielu układów mikroelektromechanicznych mems duży wpływ wywierają siły tłumiące wynikające z istnienia pomiędzy płytkami tzw. filmu powietrznego. analityczne metody szacowania tych sił występują jedynie w prostych układach. Przy bardziej złożonych kształtach bardzo pomocne są metody numeryczne, których intensywny rozwój jest szczególnie zauważalny w ostatnich latach. wśród paru znanych na rynku programów umożliwiających analizę układów mems wyróżnić można program comsol multiphysics, który zawiera specjalistyczny moduł mems. w niniejszej pracy zostanie zweryfikowana przydatność powyższego programu w modelowaniu prostych oraz złożonych płytek zawierających perforacje w postaci otworów. celem wykonywania w płytkach otworów jest przeważnie chęć redukcji występujących sił tłumiących. zrealizowany szereg badań analityczno-numerycznych zobrazował liczne niedoskonałości programu comsol, które należałoby poprawić. Słowa kluczowe: mems, siły tłumiące, równanie reynoldsa, perforacje DOI: 10.5604/12345865.1186356","PeriodicalId":9068,"journal":{"name":"Biuletyn Wojskowej Akademii Technicznej","volume":"64 1","pages":"191-206"},"PeriodicalIF":0.0000,"publicationDate":"2015-12-30","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"0","resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"Biuletyn Wojskowej Akademii Technicznej","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.5604/12345865.1186356","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"","JCRName":"","Score":null,"Total":0}
引用次数: 0
Abstract
Streszczenie. na pracę wielu układów mikroelektromechanicznych mems duży wpływ wywierają siły tłumiące wynikające z istnienia pomiędzy płytkami tzw. filmu powietrznego. analityczne metody szacowania tych sił występują jedynie w prostych układach. Przy bardziej złożonych kształtach bardzo pomocne są metody numeryczne, których intensywny rozwój jest szczególnie zauważalny w ostatnich latach. wśród paru znanych na rynku programów umożliwiających analizę układów mems wyróżnić można program comsol multiphysics, który zawiera specjalistyczny moduł mems. w niniejszej pracy zostanie zweryfikowana przydatność powyższego programu w modelowaniu prostych oraz złożonych płytek zawierających perforacje w postaci otworów. celem wykonywania w płytkach otworów jest przeważnie chęć redukcji występujących sił tłumiących. zrealizowany szereg badań analityczno-numerycznych zobrazował liczne niedoskonałości programu comsol, które należałoby poprawić. Słowa kluczowe: mems, siły tłumiące, równanie reynoldsa, perforacje DOI: 10.5604/12345865.1186356
京公网安备 11010802042870号
京ICP备2023020795号-1
分享
求助内容：
应助结果提醒方式：
扫码关注我们
