Miroirs pour l'UV lointain (VUV) entre 80 et 130 nm

Abstract

Dans le domaine spectral entre 80 et 130 nm situe dans le VUV ("Vacuum Ultra-Violet"), les materiaux ne sont ni transparents, ni vraiment reflechissants. Il est difficile de realiser des systemes optiques et, en consequence, de determiner les constantes optiques des materiaux. Les ecarts entre la reflectivite calculee a partir des indices references dans les tables et la reflectivite experimentale nous ont conduits a penser que certains de ces indices n'etaient pas exacts. Nous avons developpe une methode experimentale de determination des constantes optiques a partir des mesures de reflectivite au voisinage de l'incidence normale, en fonction de la longueur d'onde. A partir des valeurs ainsi determinees, des composants tels que miroirs ou polariseurs peuvent etre concus et realises.