Ch. Hecquet, M. Roulliay, F. Delmotte, M.-F. Ravet-Krill, A. Hardouin, M. Idir
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Abstract
Le Laboratoire Charles Fabry concoit de nombreuses optiques dont certaines pour les applications dans le spectre EUV. Pour les besoins de caracterisation, il est necessaire de posseder une metrologie a la longueur d'onde d'utilisation proche des moyens de fabrication. Ceci permet d'etudier les composants des leur conception et de caracteriser les optiques. Nous presentons ici les performances d'un reflectometre automatise EUV large spectre. Il a ete developpe dans le cadre de la centrale CEMOX 1 , initiee par le pole PRaXO 2 .
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