ФОРМИРОВАНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК КАРБИДА БОРА, ОБОГАЩЕННОГО ИЗОТОПОМ 10B, ПРИ НИЗКИХ ТЕМПЕРАТУРАХ

Тонкопленочные конвертеры нейтронов на основе карбида бора B4C, обогащенного изотопом 10В, наносимые на подложки из алюминия, алюминиевой фольги и полимерных пленок большой площади, являются перспективным материалом для создания новых детекторов нейтронов. Нанесение пленок B4C методом магнетронного распыления на такие основания сильно осложняется необходимостью нагрева подложек до температуры 400 °С и более, что может приводить к их деформации. В работе показано, что применение ионного ассистирования в процессе магнетронного осаждения B4C приводит к формированию пленок нанокристаллической структуры, обладающих высокой прочностью и гибкостью, даже при понижении температуры подложки до 50 °С, а использование подслоя алюминия повышает адгезию. Получены тонкие пленки B4C на подложках из алюминия 0,5 × 100 × 100 мм2 и 0,5 × 280 × 400 мм2 в атмосфере аргона при температуре 400, 200 и 50 °С. Исследованы структура, состав и показатель преломления по пленкам на пластинах из кремния. Гибкость получаемых пленок и низкая температура формирования дают возможность нанесения конвертера нейтронов из 10B4C на тонкие полимерные основания.