DESAIN LVDT SEBAGAI TRANSDUCER PENGUKUR TEBAL FILM TIPIS

Linier Variable Deference Transformer (LVDT) adalah salah satu transducer yang dapat digunakan untuk pengukuran tebal profil film tipis menggunakan metode Stylus-Elektromekanis. Untuk menerapkan metoda tersebut diperlukan suatu instrumentasi yang terdiri dari perangkat keras dan perangkat lunak.Perangkat keras akan mengolah fluktuasi sinyal analog akibat gerak stylus  diatas sampel film tipis  yang dikopel pada ferit sebagai inti transducer LVDT, kemudian mengubahnya menjadi sinyal digital. Selanjutnya sinyal digital ini direkam ke dalam komputer melalui fasilitas akusisi data. Perangkat keras dirancang berdasarkan domain waktu.Perangkat lunak dirancang untuk melakukan akusisi data, mengolahnya, berikut intepretasi kuantitatifnya. Oleh karenanya sistem instrumentasi pengukur tebal profil film tipis ini dibuat dilengkapi pula dengan berbagai submenu yang diperlukan, sehingga seluruh proses mulai dari akusisi data sampai dengan intepretasinya dapat dilakukan secara bersamaan.Sensitivitas dari pengukuran bergantung dari parameter geometri tarnsducer LVDT yaitu, panjang dan luas penampang  kumparan, jumlah lilitan, karakteristik osilator eksitasi  dan stylus. Dalam riset ini, didesain untuk sensitifitas  optimalnya 2,5mV/1,5mm. Alternatif untuk meningkatkan sensitivitas  yaitu merubah panjang kumparan menjadi 1-mm, dengan ini akan didapat sensitivitas optimal  2,5 mV/0,5mm. Cara ini masih terus diuji coba.