硫化锌表面微结构抗反射特性的理论模拟及制备

IF 0.6 4区物理与天体物理 Q4 OPTICS 光子学报 Pub Date : 2023-01-01 DOI:10.3788/gzxb20235207.0752308

罗兴 LUO Xing, 李明 LI Ming, 毛建勇 MAO Jianyong

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摘要

针对硫化锌表面微纳米结构在中远红外波段7~10 μm的增透性能开展理论及实验研究。基于时域有限差分软件建立物理模型，理论研究微结构参数变化对减反性能产生的影响，依据红外光谱值分布图宏观展示微结构参数与透过率的关系。利用飞秒激光在空气环境中制备不同规格的微纳米结构阵列，通过实验实现了设计的结构。分别测试样品在中远红外波段7~10 μm范围内透过率，其中8 μm的网格结构在8.5~10 μm波段的平均透过率可提高4%，在10 μm波长处透过率提升7%。实验结果表明所制备的结构具有良好的抗反射性能。对比结果显示实验所示透过率变化趋势与仿真结果具有一致性。

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