表面检测检验检测垫(SIP)

IF 0.4 Q4 ENGINEERING, MECHANICAL Vakuum in Forschung und Praxis Pub Date : 2023-10-01 DOI:10.1002/vipr.202300808
Michael Wahl, Wolfgang Bock, Michael Kopnarski
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摘要

摘要是想通过‐委员会‐炒米粉,简称",提供了一种廉价和ressourcenschonende vakuumgestützte Probennahme批准的Kontaminationskontrolle Bauteiloberflächen .分析的Oberflächenchemie Bauteils应就通过分析"‐.表面分析可以除其他方法特别是oberflächensensitive飞‐Sekundärionen‐Massenspektrometrie (ToF‐SIMS) .用于因此需要的砖块必须暂时放置并销毁用于分析用户可以节省开支。同胞们还可以用SIPs进行干洗机及液体污染控制。最多发现液体中有不到10—6的临界点。
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Surface‐Inspection‐Pad (SIP)
Zusammenfassung Das Surface‐Inspection‐Pad, kurz SIP, bietet eine kostengünstige und ressourcenschonende Alternative zur Probennahme für eine vakuumgestützte Kontaminationskontrolle von Bauteiloberflächen. Die Analyse der Oberflächenchemie des Bauteils erfolgt dann durch die Analyse der SIP‐Oberfläche. Zur Analyse kann neben anderen Methoden insbesondere die oberflächensensitive Flugzeit‐Sekundärionen‐Massenspektrometrie (ToF‐SIMS) verwendet werden. Die zu untersuchenden Bauteile müssen somit nicht mehr aus dem Prozess entfernt und für die Analyse zerstört werden. Der Anwendende kann so enorme Kosten einsparen. Weiterhin können SIPs für die Kontaminationskontrolle in Schmierstoffkreisläufen und Flüssigkeiten eingesetzt werden. Silikonöl (PDMS) wird dabei in Flüssigkeiten bisher mit einer Nachweisgrenze von unter 10 –6 (ppm) nachgewiesen.
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Vakuum in Forschung und Praxis ENGINEERING, MECHANICAL-
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