用电子束溅射石墨获得的纳米碳薄膜的结构和形态特性

IF 0.6 Q4 PHYSICS, MULTIDISCIPLINARY Ukrainian Journal of Physics Pub Date : 2023-12-18 DOI:10.15407/ujpe68.11.764
V. Yukhymchuk, V. Dzhagan, O.F. Isaieva, P. Lytvyn, A.A. Korchovyi, T.M. Sabov, V.B. Lozinskii, V.S. Yefanov, V.O. Osokin, Yu.A. Kurapov
{"title":"用电子束溅射石墨获得的纳米碳薄膜的结构和形态特性","authors":"V. Yukhymchuk, V. Dzhagan, O.F. Isaieva, P. Lytvyn, A.A. Korchovyi, T.M. Sabov, V.B. Lozinskii, V.S. Yefanov, V.O. Osokin, Yu.A. Kurapov","doi":"10.15407/ujpe68.11.764","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"Методом електронного розпилення графiту отримано нанометровi вуглецевi плiвки на металевих (мiдних, сталевих) та кремнiєвих пiдкладинках. Температура пiдкладок варiювалася вiд 350 до 600 оС з кроком 50 оС, а час напилення – вiд 1 до 10 с. Отриманi вуглецевi плiвки характеризувалися методами раманiвської спектроскопiї, X-променевої фотоелектронної спектроскопiї (XPS), атомно-силової мiкроскопiї та електронного парамагнiтного резонансу (EPR). З аналiзу раманiвських спектрiв встановлено, що при температурах металевих пiдкладок до 400 оС, сформованi на них вуглецевi плiвки є аморфними, при вищих температурах мають графiтоподiбну структуру. На кремнiєвих пiдкладинках при всiх температурах до 600 оС формуються аморфнi вуглецевi плiвки. Отриманi результати з раманiвських спектрiв корелюють з даними XPS. Показано, що на морфологiю плiвок впливає як температура пiдкладок, так i їхнiй тип (металева чи кремнiєва). Зi збiльшенням температури пiдкладок вiд 350 до 600 оС середнi розмiри нерiвностей на поверхнi вуглецевих плiвок зростають як на металевих, так i на кремнiєвiй пiдкладинках. EPR дослiдження показали, що наявнi в плiвках структурнi дефекти, якi зумовлюють прояв у раманiвських спектрах так званих дефектних смуг (D та D′), є не парамагнiтними.","PeriodicalId":23400,"journal":{"name":"Ukrainian Journal of Physics","volume":"202 ","pages":""},"PeriodicalIF":0.6000,"publicationDate":"2023-12-18","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"0","resultStr":"{\"title\":\"Структурні та морфологічні властивості нанометрових вуглецевих плівок, отриманих розпиленням графіту електронним променем\",\"authors\":\"V. Yukhymchuk, V. Dzhagan, O.F. Isaieva, P. Lytvyn, A.A. Korchovyi, T.M. Sabov, V.B. Lozinskii, V.S. Yefanov, V.O. Osokin, Yu.A. Kurapov\",\"doi\":\"10.15407/ujpe68.11.764\",\"DOIUrl\":null,\"url\":null,\"abstract\":\"Методом електронного розпилення графiту отримано нанометровi вуглецевi плiвки на металевих (мiдних, сталевих) та кремнiєвих пiдкладинках. Температура пiдкладок варiювалася вiд 350 до 600 оС з кроком 50 оС, а час напилення – вiд 1 до 10 с. Отриманi вуглецевi плiвки характеризувалися методами раманiвської спектроскопiї, X-променевої фотоелектронної спектроскопiї (XPS), атомно-силової мiкроскопiї та електронного парамагнiтного резонансу (EPR). З аналiзу раманiвських спектрiв встановлено, що при температурах металевих пiдкладок до 400 оС, сформованi на них вуглецевi плiвки є аморфними, при вищих температурах мають графiтоподiбну структуру. На кремнiєвих пiдкладинках при всiх температурах до 600 оС формуються аморфнi вуглецевi плiвки. Отриманi результати з раманiвських спектрiв корелюють з даними XPS. Показано, що на морфологiю плiвок впливає як температура пiдкладок, так i їхнiй тип (металева чи кремнiєва). Зi збiльшенням температури пiдкладок вiд 350 до 600 оС середнi розмiри нерiвностей на поверхнi вуглецевих плiвок зростають як на металевих, так i на кремнiєвiй пiдкладинках. EPR дослiдження показали, що наявнi в плiвках структурнi дефекти, якi зумовлюють прояв у раманiвських спектрах так званих дефектних смуг (D та D′), є не парамагнiтними.\",\"PeriodicalId\":23400,\"journal\":{\"name\":\"Ukrainian Journal of Physics\",\"volume\":\"202 \",\"pages\":\"\"},\"PeriodicalIF\":0.6000,\"publicationDate\":\"2023-12-18\",\"publicationTypes\":\"Journal Article\",\"fieldsOfStudy\":null,\"isOpenAccess\":false,\"openAccessPdf\":\"\",\"citationCount\":\"0\",\"resultStr\":null,\"platform\":\"Semanticscholar\",\"paperid\":null,\"PeriodicalName\":\"Ukrainian Journal of Physics\",\"FirstCategoryId\":\"1085\",\"ListUrlMain\":\"https://doi.org/10.15407/ujpe68.11.764\",\"RegionNum\":0,\"RegionCategory\":null,\"ArticlePicture\":[],\"TitleCN\":null,\"AbstractTextCN\":null,\"PMCID\":null,\"EPubDate\":\"\",\"PubModel\":\"\",\"JCR\":\"Q4\",\"JCRName\":\"PHYSICS, MULTIDISCIPLINARY\",\"Score\":null,\"Total\":0}","platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"Ukrainian Journal of Physics","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.15407/ujpe68.11.764","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"Q4","JCRName":"PHYSICS, MULTIDISCIPLINARY","Score":null,"Total":0}
引用次数: 0

摘要

通过电子溅射石墨烯,在金属(铜、钢)和硅基底上获得了纳米长的碳薄膜。基底的温度变化范围为 350 ℃ 至 600 ℃,步长为 50 ℃,溅射时间为 1 秒至 10 秒。拉曼光谱、X 射线光电子能谱 (XPS)、原子力显微镜和电子顺磁共振 (EPR) 对获得的碳薄膜进行了表征。通过分析拉曼光谱发现,在温度不超过 400 °C 的金属基底上形成的碳薄膜是无定形的,而在更高的温度下,它们具有类似石墨的结构。在 600 ℃ 以下的所有温度下,硅基底上都会形成无定形碳膜。拉曼光谱得出的结果与 XPS 数据相关。结果表明,薄膜的形态受基底温度和基底类型(金属或硅)的影响。随着基底温度从 350 ℃ 升高到 600 ℃,碳薄膜表面不均匀的平均尺寸在金属和硅基底上都会增大。EPR 研究表明,导致拉曼光谱中出现所谓缺陷带(D 和 D′)的薄膜中存在的结构缺陷不是顺磁性的。
本文章由计算机程序翻译,如有差异,请以英文原文为准。
查看原文
分享 分享
微信好友 朋友圈 QQ好友 复制链接
本刊更多论文
Структурні та морфологічні властивості нанометрових вуглецевих плівок, отриманих розпиленням графіту електронним променем
Методом електронного розпилення графiту отримано нанометровi вуглецевi плiвки на металевих (мiдних, сталевих) та кремнiєвих пiдкладинках. Температура пiдкладок варiювалася вiд 350 до 600 оС з кроком 50 оС, а час напилення – вiд 1 до 10 с. Отриманi вуглецевi плiвки характеризувалися методами раманiвської спектроскопiї, X-променевої фотоелектронної спектроскопiї (XPS), атомно-силової мiкроскопiї та електронного парамагнiтного резонансу (EPR). З аналiзу раманiвських спектрiв встановлено, що при температурах металевих пiдкладок до 400 оС, сформованi на них вуглецевi плiвки є аморфними, при вищих температурах мають графiтоподiбну структуру. На кремнiєвих пiдкладинках при всiх температурах до 600 оС формуються аморфнi вуглецевi плiвки. Отриманi результати з раманiвських спектрiв корелюють з даними XPS. Показано, що на морфологiю плiвок впливає як температура пiдкладок, так i їхнiй тип (металева чи кремнiєва). Зi збiльшенням температури пiдкладок вiд 350 до 600 оС середнi розмiри нерiвностей на поверхнi вуглецевих плiвок зростають як на металевих, так i на кремнiєвiй пiдкладинках. EPR дослiдження показали, що наявнi в плiвках структурнi дефекти, якi зумовлюють прояв у раманiвських спектрах так званих дефектних смуг (D та D′), є не парамагнiтними.
求助全文
通过发布文献求助,成功后即可免费获取论文全文。 去求助
来源期刊
Ukrainian Journal of Physics
Ukrainian Journal of Physics PHYSICS, MULTIDISCIPLINARY-
CiteScore
1.20
自引率
20.00%
发文量
244
期刊介绍: Ukrainian Journal of Physics is the general physics edition of the Department of Physics and Astronomy of the National Academy of Sciences of Ukraine. The journal publishes original papers and reviews in the fields of experimental and theoretical physics.
期刊最新文献
Peculiarities of Eu3+ Photoluminescence in Opal Photonic Crystal Films and Heterostructures Based of Them Laser-Induced Transformations in Thermally Evaporated Thin TlInSe2 Films Studied by Raman Spectroscopy Existence of Small-Amplitude Double Layers in Two-Temperature Non-Isothermal Plasma Fullerene-Amyloid Complexes as Perspective Nanocomposites: Molecular Docking Studies Особливості досліджень поверхні плівок ZnO–SiO2 методом мультифрактального аналізу
×
引用
GB/T 7714-2015
复制
MLA
复制
APA
复制
导出至
BibTeX EndNote RefMan NoteFirst NoteExpress
×
×
提示
您的信息不完整,为了账户安全,请先补充。
现在去补充
×
提示
您因"违规操作"
具体请查看互助需知
我知道了
×
提示
现在去查看 取消
×
提示
确定
0
微信
客服QQ
Book学术公众号 扫码关注我们
反馈
×
意见反馈
请填写您的意见或建议
请填写您的手机或邮箱
已复制链接
已复制链接
快去分享给好友吧!
我知道了
×
扫码分享
扫码分享
Book学术官方微信
Book学术文献互助
Book学术文献互助群
群 号:481959085
Book学术
文献互助 智能选刊 最新文献 互助须知 联系我们:info@booksci.cn
Book学术提供免费学术资源搜索服务,方便国内外学者检索中英文文献。致力于提供最便捷和优质的服务体验。
Copyright © 2023 Book学术 All rights reserved.
ghs 京公网安备 11010802042870号 京ICP备2023020795号-1