V. Yukhymchuk, V. Dzhagan, O.F. Isaieva, P. Lytvyn, A.A. Korchovyi, T.M. Sabov, V.B. Lozinskii, V.S. Yefanov, V.O. Osokin, Yu.A. Kurapov
{"title":"用电子束溅射石墨获得的纳米碳薄膜的结构和形态特性","authors":"V. Yukhymchuk, V. Dzhagan, O.F. Isaieva, P. Lytvyn, A.A. Korchovyi, T.M. Sabov, V.B. Lozinskii, V.S. Yefanov, V.O. Osokin, Yu.A. Kurapov","doi":"10.15407/ujpe68.11.764","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"Методом електронного розпилення графiту отримано нанометровi вуглецевi плiвки на металевих (мiдних, сталевих) та кремнiєвих пiдкладинках. Температура пiдкладок варiювалася вiд 350 до 600 оС з кроком 50 оС, а час напилення – вiд 1 до 10 с. Отриманi вуглецевi плiвки характеризувалися методами раманiвської спектроскопiї, X-променевої фотоелектронної спектроскопiї (XPS), атомно-силової мiкроскопiї та електронного парамагнiтного резонансу (EPR). З аналiзу раманiвських спектрiв встановлено, що при температурах металевих пiдкладок до 400 оС, сформованi на них вуглецевi плiвки є аморфними, при вищих температурах мають графiтоподiбну структуру. На кремнiєвих пiдкладинках при всiх температурах до 600 оС формуються аморфнi вуглецевi плiвки. Отриманi результати з раманiвських спектрiв корелюють з даними XPS. Показано, що на морфологiю плiвок впливає як температура пiдкладок, так i їхнiй тип (металева чи кремнiєва). Зi збiльшенням температури пiдкладок вiд 350 до 600 оС середнi розмiри нерiвностей на поверхнi вуглецевих плiвок зростають як на металевих, так i на кремнiєвiй пiдкладинках. EPR дослiдження показали, що наявнi в плiвках структурнi дефекти, якi зумовлюють прояв у раманiвських спектрах так званих дефектних смуг (D та D′), є не парамагнiтними.","PeriodicalId":23400,"journal":{"name":"Ukrainian Journal of Physics","volume":"202 ","pages":""},"PeriodicalIF":0.6000,"publicationDate":"2023-12-18","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"0","resultStr":"{\"title\":\"Структурні та морфологічні властивості нанометрових вуглецевих плівок, отриманих розпиленням графіту електронним променем\",\"authors\":\"V. Yukhymchuk, V. Dzhagan, O.F. Isaieva, P. Lytvyn, A.A. Korchovyi, T.M. Sabov, V.B. Lozinskii, V.S. Yefanov, V.O. Osokin, Yu.A. Kurapov\",\"doi\":\"10.15407/ujpe68.11.764\",\"DOIUrl\":null,\"url\":null,\"abstract\":\"Методом електронного розпилення графiту отримано нанометровi вуглецевi плiвки на металевих (мiдних, сталевих) та кремнiєвих пiдкладинках. Температура пiдкладок варiювалася вiд 350 до 600 оС з кроком 50 оС, а час напилення – вiд 1 до 10 с. Отриманi вуглецевi плiвки характеризувалися методами раманiвської спектроскопiї, X-променевої фотоелектронної спектроскопiї (XPS), атомно-силової мiкроскопiї та електронного парамагнiтного резонансу (EPR). З аналiзу раманiвських спектрiв встановлено, що при температурах металевих пiдкладок до 400 оС, сформованi на них вуглецевi плiвки є аморфними, при вищих температурах мають графiтоподiбну структуру. На кремнiєвих пiдкладинках при всiх температурах до 600 оС формуються аморфнi вуглецевi плiвки. Отриманi результати з раманiвських спектрiв корелюють з даними XPS. Показано, що на морфологiю плiвок впливає як температура пiдкладок, так i їхнiй тип (металева чи кремнiєва). Зi збiльшенням температури пiдкладок вiд 350 до 600 оС середнi розмiри нерiвностей на поверхнi вуглецевих плiвок зростають як на металевих, так i на кремнiєвiй пiдкладинках. EPR дослiдження показали, що наявнi в плiвках структурнi дефекти, якi зумовлюють прояв у раманiвських спектрах так званих дефектних смуг (D та D′), є не парамагнiтними.\",\"PeriodicalId\":23400,\"journal\":{\"name\":\"Ukrainian Journal of Physics\",\"volume\":\"202 \",\"pages\":\"\"},\"PeriodicalIF\":0.6000,\"publicationDate\":\"2023-12-18\",\"publicationTypes\":\"Journal Article\",\"fieldsOfStudy\":null,\"isOpenAccess\":false,\"openAccessPdf\":\"\",\"citationCount\":\"0\",\"resultStr\":null,\"platform\":\"Semanticscholar\",\"paperid\":null,\"PeriodicalName\":\"Ukrainian Journal of Physics\",\"FirstCategoryId\":\"1085\",\"ListUrlMain\":\"https://doi.org/10.15407/ujpe68.11.764\",\"RegionNum\":0,\"RegionCategory\":null,\"ArticlePicture\":[],\"TitleCN\":null,\"AbstractTextCN\":null,\"PMCID\":null,\"EPubDate\":\"\",\"PubModel\":\"\",\"JCR\":\"Q4\",\"JCRName\":\"PHYSICS, MULTIDISCIPLINARY\",\"Score\":null,\"Total\":0}","platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"Ukrainian Journal of Physics","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.15407/ujpe68.11.764","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"Q4","JCRName":"PHYSICS, MULTIDISCIPLINARY","Score":null,"Total":0}
Структурні та морфологічні властивості нанометрових вуглецевих плівок, отриманих розпиленням графіту електронним променем
Методом електронного розпилення графiту отримано нанометровi вуглецевi плiвки на металевих (мiдних, сталевих) та кремнiєвих пiдкладинках. Температура пiдкладок варiювалася вiд 350 до 600 оС з кроком 50 оС, а час напилення – вiд 1 до 10 с. Отриманi вуглецевi плiвки характеризувалися методами раманiвської спектроскопiї, X-променевої фотоелектронної спектроскопiї (XPS), атомно-силової мiкроскопiї та електронного парамагнiтного резонансу (EPR). З аналiзу раманiвських спектрiв встановлено, що при температурах металевих пiдкладок до 400 оС, сформованi на них вуглецевi плiвки є аморфними, при вищих температурах мають графiтоподiбну структуру. На кремнiєвих пiдкладинках при всiх температурах до 600 оС формуються аморфнi вуглецевi плiвки. Отриманi результати з раманiвських спектрiв корелюють з даними XPS. Показано, що на морфологiю плiвок впливає як температура пiдкладок, так i їхнiй тип (металева чи кремнiєва). Зi збiльшенням температури пiдкладок вiд 350 до 600 оС середнi розмiри нерiвностей на поверхнi вуглецевих плiвок зростають як на металевих, так i на кремнiєвiй пiдкладинках. EPR дослiдження показали, що наявнi в плiвках структурнi дефекти, якi зумовлюють прояв у раманiвських спектрах так званих дефектних смуг (D та D′), є не парамагнiтними.
期刊介绍:
Ukrainian Journal of Physics is the general physics edition of the Department of Physics and Astronomy of the National Academy of Sciences of Ukraine. The journal publishes original papers and reviews in the fields of experimental and theoretical physics.