非均匀半导体薄膜光学常数测定软件开发

IF 0.5 Q4 ENGINEERING, MULTIDISCIPLINARY Ingenieria y Competitividad Pub Date : 2022-06-07 DOI:10.25100/iyc.v24i02.11553
Deisy Y. Torres Celis, Erik A Africano-Mejía, Clara L Calderón-Triana, Alexander Sepúlveda Sepúlveda, Mónica Andrea Botero Londoño
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摘要

在本工作中,我们设计并开发了一个有用的软件工具来研究半导体材料的光学特性。通过这项研究,有可能知道合成的非均相半导体薄膜是否适合半导体器件的制造。利用基于Swanepoel方法的算法,估计了非均匀半导体薄膜的光学常数,如吸收系数(α)、折射率(n)和能隙(Eg);此外,还可以估计它们的厚度变化。该工具的输入是由实验程序产生的光谱透光曲线的信息。据认为拟议的工具提供了一个高度的可靠性,因此可以用于研究薄膜半导体特性将其用于制造半导体器件的多种用途,包括清洁能源和可再生能源如太阳能电池。
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Desarrollo de software para determinar constantes ópticas en películas delgadas semiconductoras no homogéneas
En este trabajo se realizó el diseño y se desarrolló de una herramienta de software útil en el estudio de las propiedades ópticas de materiales semiconductores. Mediante este estudio es posible conocer si las películas delgadas semiconductoras no homogéneas sintetizadas son adecuadas para la fabricación de dispositivos semiconductores. Mediante el algoritmo desarrollado, basado en los métodos de Swanepoel, se logra estimar constantes ópticas de películas semiconductoras no homogéneas tales como: coeficiente de absorción (α), índice de refracción (n) y brecha de energía prohibida (Eg); además, se logra estimar la variación del espesor en ellas. Esta herramienta tiene como insumo la información en las curvas de transmitancia espectral resultantes de procedimientos experimentales. Se encontró que la herramienta propuesta ofrece un alto grado de confiabilidad y que, por tanto, se puede usar para estudiar las propiedades de películas delgadas semiconductoras que se utilicen en la fabricación de dispositivos semiconductores en diversas aplicaciones, entre ellas las energías limpias y renovables como son las celdas solares.
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