Ch. Hecquet, M. Roulliay, F. Delmotte, M.-F. Ravet-Krill, A. Hardouin, M. Idir
{"title":"光学计量用EUV广谱反射计","authors":"Ch. Hecquet, M. Roulliay, F. Delmotte, M.-F. Ravet-Krill, A. Hardouin, M. Idir","doi":"10.1051/JP4:2006138030","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"Le Laboratoire Charles Fabry concoit de nombreuses optiques dont certaines pour les applications dans le spectre EUV. Pour les besoins de caracterisation, il est necessaire de posseder une metrologie a la longueur d'onde d'utilisation proche des moyens de fabrication. Ceci permet d'etudier les composants des leur conception et de caracteriser les optiques. Nous presentons ici les performances d'un reflectometre automatise EUV large spectre. Il a ete developpe dans le cadre de la centrale CEMOX 1 , initiee par le pole PRaXO 2 .","PeriodicalId":14838,"journal":{"name":"Journal De Physique Iv","volume":"28 1","pages":"259-264"},"PeriodicalIF":0.0000,"publicationDate":"2006-12-01","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"8","resultStr":"{\"title\":\"Réflectomètre à large spectre EUV pour la métrologie d'optiques\",\"authors\":\"Ch. Hecquet, M. Roulliay, F. Delmotte, M.-F. Ravet-Krill, A. Hardouin, M. Idir\",\"doi\":\"10.1051/JP4:2006138030\",\"DOIUrl\":null,\"url\":null,\"abstract\":\"Le Laboratoire Charles Fabry concoit de nombreuses optiques dont certaines pour les applications dans le spectre EUV. Pour les besoins de caracterisation, il est necessaire de posseder une metrologie a la longueur d'onde d'utilisation proche des moyens de fabrication. Ceci permet d'etudier les composants des leur conception et de caracteriser les optiques. Nous presentons ici les performances d'un reflectometre automatise EUV large spectre. Il a ete developpe dans le cadre de la centrale CEMOX 1 , initiee par le pole PRaXO 2 .\",\"PeriodicalId\":14838,\"journal\":{\"name\":\"Journal De Physique Iv\",\"volume\":\"28 1\",\"pages\":\"259-264\"},\"PeriodicalIF\":0.0000,\"publicationDate\":\"2006-12-01\",\"publicationTypes\":\"Journal Article\",\"fieldsOfStudy\":null,\"isOpenAccess\":false,\"openAccessPdf\":\"\",\"citationCount\":\"8\",\"resultStr\":null,\"platform\":\"Semanticscholar\",\"paperid\":null,\"PeriodicalName\":\"Journal De Physique Iv\",\"FirstCategoryId\":\"1085\",\"ListUrlMain\":\"https://doi.org/10.1051/JP4:2006138030\",\"RegionNum\":0,\"RegionCategory\":null,\"ArticlePicture\":[],\"TitleCN\":null,\"AbstractTextCN\":null,\"PMCID\":null,\"EPubDate\":\"\",\"PubModel\":\"\",\"JCR\":\"\",\"JCRName\":\"\",\"Score\":null,\"Total\":0}","platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"Journal De Physique Iv","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.1051/JP4:2006138030","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"","JCRName":"","Score":null,"Total":0}
Réflectomètre à large spectre EUV pour la métrologie d'optiques
Le Laboratoire Charles Fabry concoit de nombreuses optiques dont certaines pour les applications dans le spectre EUV. Pour les besoins de caracterisation, il est necessaire de posseder une metrologie a la longueur d'onde d'utilisation proche des moyens de fabrication. Ceci permet d'etudier les composants des leur conception et de caracteriser les optiques. Nous presentons ici les performances d'un reflectometre automatise EUV large spectre. Il a ete developpe dans le cadre de la centrale CEMOX 1 , initiee par le pole PRaXO 2 .