阴极侵蚀技术在工艺应用材料涂层中的应用

J. Moreno, H. Llamas, J. M. Y. Limón
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摘要

本文介绍了目前在不同工业应用中具有吸引力的涂层材料的实验结果。因此,对CrAl/CrAlN系统的多层涂层进行了系统的研究。利用磁控溅射技术,将高纯度铬和铝靶沉积在玻璃基板上。对单层和多层材料分别进行了研究,通过最佳的沉积参数获得了稳定的结晶相。用SEM和EDS分析了合成相的形貌和组成,得到了预期的薄膜晶体结构结果。根据初步结果,这项研究为潜在的工业应用,特别是在刀具行业,提供了一个非常有前景的指标。
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USO DE LA TÉCNICA DE EROSIÓN CATÓDICA EN EL RECUBRIMIENTO DE MATERIALES PARA APLICACIONES TECNOLÓGICAS
En este trabajo de investigación se presentan resultados experimentales de recubrimientos de materiales, que en la actualidad resultan atractivos para diferentes aplicaciones industriales. Consecuentemente, un estudio sistemático de recubrimientos multicapas del sistema CrAl/CrAlN fue llevado a cabo. Se depositaron los recubrimientos en sustratos de vidrio a partir de blancos de Cromo y Aluminio de alta pureza, usando la técnica de magnetrón sputtering. Las monocapas y las multicapas fueron estudiadas individualmente con la finalidad de obtener fases cristalinas estables a través de parámetros de depósito óptimos. La morfología y composición de las fases sintetizadas se analizaron mediante SEM y EDS, y a partir de ellas se obtuvo resultados previstos para la estructura cristalina de las películas. Este estudio, de acuerdo a los resultados preliminares obtenidos, constituye un indicador muy prometedor para potenciales aplicaciones industriales, especialmente en la industria de herramientas de corte.
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