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香港大学等《Nature》:批量生产大尺寸超光滑柔性金刚石薄膜!

材料分析与应用 2024-12-26 16:31
文章摘要
本文由香港大学、北京大学东莞光电研究院等研究人员在《Nature》期刊发表,研究了一种通过切边后使用胶带剥离的方法,能够大量制备大面积、超薄、超平整、超柔性的金刚石薄膜。这种薄膜具有平坦的可加工表面,支持标准的微型制造技术,其超柔性可直接用于弹性应变工程和形变传感应用。研究表明,剥离薄膜的品质取决于剥离的角度和膜厚度,能够在优化的操作窗口稳健地制备大面积且基本保持完整的金刚石薄膜。这种方法为大规模制备高品质金刚石薄膜提供了路径,有可能加快金刚石材料在电子学、光子学等相关领域的商业化应用。
香港大学等《Nature》:批量生产大尺寸超光滑柔性金刚石薄膜!
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