Light Adv. Manuf. | 大口径激光差动共焦-移相干涉测量新仪器

本文介绍了北京理工大学赵维谦教授团队开发的一种高精度大口径激光差动共焦—干涉多参数测量方法及其仪器。该技术旨在解决大口径光学元件在面形、超长焦距和超大曲率半径等参数测量中的精度问题。通过重载参考镜机械移相系统和差动共焦技术，实现了高精度、高稳定的测量，突破了传统移相干涉仪在波长调谐移相上的限制。实验结果显示，该仪器在面形测量和超长焦距、超大曲率半径的测量上均达到了纳米级精度，为大口径光学元件的高精度检测提供了新的技术途径。