封面 | 创造记录！极紫外宽带光源获得最高转换效率

本文介绍了中国科学院上海光学精密机械研究所林楠研究员提出的一种基于空间束缚激光锡等离子体的宽带极紫外光高效产生方案。该方案在先进节点半导体高通量量测中获得了高达52.5%的转换效率，是目前报道的极紫外波段最高转换效率。研究背景涉及半导体芯片制造中3 nm制程的量产及更高制程的挑战，极紫外光在先进制程芯片中的关键工艺计量与检测应用。研究通过激光等离子体极紫外宽带光源实验系统，详细描述了实验布局、EUV光谱仪和能量计等关键设备，以及宽带EUV辐射转换效率的表征方法。研究结果表明，原位第二次脉冲实现了高达52.5%的转换效率，为下一代半导体高通量原位量测提供了技术支持。