湘潭大学郝国林,合肥工大 于永强SMTD:基于硒相变诱导策略的晶圆级Te₁₋ₓSeₓ薄膜的可控生长及其单像素成像应用
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2025-03-11 08:30
文章摘要
本文介绍了湘潭大学郝国林教授课题组基于硒相变诱导策略,采用低压化学气相沉积技术成功制备了2英寸Te1-xSex薄膜的研究。该研究通过调节Te和Se粉末的摩尔比,精确控制了薄膜的化学组成,并利用非晶Se在高温下的相变特性,促进了Te原子融入Se链中形成晶态Te1-xSex。此外,研究还展示了基于Te0.4Se0.6薄膜的高响应、高稳定光电探测器,实现了高分辨的近红外单像素成像。这一成果为Te1-xSex薄膜在红外光电探测与成像领域的应用提供了重要的研究价值。
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