Nature Communications | 突破光学纳米打印分辨率和效率极限

本文介绍了暨南大学光子技术研究院与中国科学院理化研究所联合团队在纳米打印技术领域的最新突破。传统的双光子吸收（TPA）技术在高分辨率和高效率之间存在矛盾，难以同时实现。研究团队提出了一种基于少光子辐照的双光子吸收（fpTPA）技术，通过精确控制飞秒激光脉冲的光子数量，实现了在超低光子辐照度下的高效双光子吸收。该技术不仅突破了传统TPA技术的分辨率极限，还显著提高了打印效率。实验验证表明，该技术能够实现26纳米的最小特征尺寸，吞吐量比传统技术提高了5个数量级。此外，该技术在光学成像和生物医学等领域展现出广泛的应用前景，成功打印了多种微纳结构，包括光学波导、微环谐振器以及复杂的生物微流体通道。这项技术为纳米打印领域提供了新的理论和实验依据，有望推动微电子、光学和生物医学等领域的进一步发展。