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研究前沿：台积电-二维材料WSe2薄膜生长，AACVD | Nature Communications

今日新材料 2025-03-24 13:35

文章摘要

本文介绍了台积电与台湾大学合作在Nature Communications上发表的研究，主要探讨了使用碱辅助化学气相沉积（AACVD）技术生长高质量、大面积WSe2薄膜的方法。研究背景在于p型WSe2晶体管的发展落后于n型MoS2，主要由于高质量WSe2薄膜的生长挑战。研究目的是通过AACVD技术，利用KOH增强蓝宝石衬底上的成核作用，实现单层和双层WSe2的可控生长。研究结果表明，通过此技术生长的WSe2薄膜具有低缺陷密度，双层WSe2晶体管表现出优异的空穴/电子迁移率，显示出在高性能电子应用中的潜力。

研究前沿：台积电-二维材料WSe2薄膜生长，AACVD | Nature Communications

查看文献： Large-scale alkali-assisted growth of monolayer and bilayer WSe2 with a low defect density
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