封面 | 激光直写制备高纵横比纳米结构,实现精密可控加工
中国激光杂志社
2025-04-13 16:00
文章摘要
本文介绍了上海理工大学詹其文教授团队利用双光子聚合激光直写技术在商用光刻胶中成功制备高纵横比纳米结构的研究。背景方面,激光直写技术作为一种高精度、灵活可控的三维微纳加工方法,广泛应用于光子器件、生物传感等领域。研究目的是通过优化激光直写参数和改进光刻胶特性,实现更高精度的高纵横比纳米结构制备。结论表明,该方法实现了最小特征尺寸37 nm、纵横比高达10:1的微纳制造突破,为光学微器件、生物传感及纳米制造等领域提供了新技术方案。
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