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晶圆是如何制造出来的?

中科院物理所 2025-04-24 12:10
文章摘要
本文详细介绍了晶圆的制造过程及其在芯片制造中的重要性。背景方面,芯片制造是人类有史以来最复杂的工程之一,涉及数百道工序,主要分为芯片设计、晶圆制备、芯片制造和封装测试四个阶段。研究目的方面,文章旨在解释晶圆制备的具体步骤,包括脱氧提纯、拉单晶硅、晶圆切割、倒角研磨抛光、清洗和检测分类等。结论方面,晶圆尺寸越大,单位芯片成本越低,但生产技术要求也越高;晶圆通常为圆形,因其在运输、制造和面积利用率上具有优势;虽然半导体材料有多种,但硅仍是主要的衬底材料。
晶圆是如何制造出来的?
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