IEEE\/ASME Journal of Microelectromechanical Systems

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发文信息

Pub Date : 2003-12-01 DOI: 10.1109/JMEMS.2003.820269 R. Syms, A. Lohmann

Pub Date : 2003-12-01 DOI: 10.1109/JMEMS.2003.820282 L. Cheng, A. Steckl, J. Scofield

Pub Date : 2003-12-01 DOI: 10.1109/JMEMS.2003.820265 Zhixiong Xiao, W. Peng, K. Farmer

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