19th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems

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发文信息

Pub Date : 2006-05-08 DOI: 10.1109/MEMSYS.2006.1627838 T. Nisisako, T. Torii, T. Higuchi

Pub Date : 2006-05-08 DOI: 10.1109/MEMSYS.2006.1627734 M. Yamada, M. Seki

Pub Date : 2006-05-08 DOI: 10.1109/MEMSYS.2006.1627796 E. Quevy, R. Howe, T. King

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