Proceedings IEEE Thirteenth Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (Cat. No.00CH36308)

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发文信息

Pub Date : 2000-09-25 DOI: 10.1109/MEMSYS.2000.838492 Xuan-Qi Wang, Y. Tai

Pub Date : 2000-01-23 DOI: 10.1109/MEMSYS.2000.838589 L. An, Wenge Zhang, V. Bright, M. Dunn, R. Raj

Pub Date : 2000-01-23 DOI: 10.1109/MEMSYS.2000.838551 Young-Ho Lee, T. Kang, Young‐Ho Cho

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