[1991] Proceedings. IEEE Micro Electro Mechanical Systems

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发文信息

Pub Date : 1991-01-30 DOI: 10.1109/MEMSYS.1991.114776 O. Tabata, K. Shimaoka, S. Sugiyama

Pub Date : 1991-01-30 DOI: 10.1109/MEMSYS.1991.114796 T. Bloomstein, D. Ehrlich

Pub Date : 1991-01-30 DOI: 10.1109/MEMSYS.1991.114769 T. Furuhata, T. Hirano, K. J. Gabriel, H. Fujita

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