Pembuatan dan Karakterisasi Kapasitor Barium Strontium Titanat (Bst) Ba0,75 Sr0,25 TiO3

Abstract

Lapisan tipis Barium Strontium Titanate (BST) telah ditelaah dengan komposisi  Ba0.75 Sr0.25 TiO3 menggunakan metode sol-gel yang digabungkan pada suhu 600 dan 650oC. Lapisan tipis BST dikarakterisasi menggunakan Field Emission Scanning Electron Microscopy (FESEM) dan spektroskopi impedansi. Hasil dari karakterisasi FESEM untuk sampel pada suhu 600 dan 650oC ialah 55.83 nm dan 84.88 nm dari segi ketebalan secara berurutan. Hasil dari karakterisasi spektroskopi impedansi berdasarkan nilai frekuensi menunjukkan nilai impedansi yang nyata dan imajiner. Nilai kapasitsa pada frekuensi 20 Hz dari lapisan tipis BST pada suhu 600 dan 650oC ialah 69.36 dan 138.70 F. Konstanta dielektrik dari lapisan tipis BST pada suhu 600 dan 650oC ialah 22.17 dan 131.56 secara berurutan.   The thin film of Barium Strontium Titanate (BST) has been studied with composition of Ba0.75 Sr0.25 TiO3 by using sol-gel method that annealed in temperature of 600oC and 650oC. The thin film of BST is characterized by using Field Emission Scanning Electron Microscopy (FESEM) and an impedance spectroscopy. The results of FESEM characterization for samples in temperature of 600 dan 650oC are 55.83 nm and 84.88 nm in thickness respectively. The result of impedance spectroscopy characterization given frequency values obtained by the impedance value of real and imaginary.The capacitance value at a frequency of 20 Hz from a thin film of BST in temperature of 600 dan 650oC are 69.36 F and 138.7oF. The dielectric constant of the thin film of BST in temperature of 600 dan 650oC are 22.17 and 131.56 respectively.