{"title":"К ВОПРОСУ ТЕХНОЛОГИИ СОЗДАНИЯ ТВЕРДОТЕЛЬНЫХ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ","authors":"П. С. Кузнецов","doi":"10.25633/etn.2024.03.09","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"Проведен обзор и анализ современных технологий создания твердотельных микромеханических систем. Рассмотрены их основные особенности и главные отличия от технологий микроэлектроники. Выявлены наиболее распространённые и перспективные технологии.","PeriodicalId":425015,"journal":{"name":"Естественные и технические науки","volume":"77 14","pages":""},"PeriodicalIF":0.0000,"publicationDate":"2024-05-14","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"0","resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"Естественные и технические науки","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.25633/etn.2024.03.09","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"","JCRName":"","Score":null,"Total":0}
引用次数: 0
Abstract
Проведен обзор и анализ современных технологий создания твердотельных микромеханических систем. Рассмотрены их основные особенности и главные отличия от технологий микроэлектроники. Выявлены наиболее распространённые и перспективные технологии.
京公网安备 11010802042870号
京ICP备2023020795号-1
分享
求助内容：
应助结果提醒方式：
扫码关注我们
