APPLICATION OF THE METHOD AND TOOLS FOR MONITORING THE ENERGY CONSUMPTION OF CLEAN ROOMS BASED ON THE USE OF THE SOFTWARE PACKAGE STATISTICA NEURAL NETWORKS

Abstract

В статье предложена система мониторинга процессов энергопотребления чистыми помещениями электроинфраструктуры предприятия производства изделий микроэлектроники. Выполнена классификация базовых технологических операций, осуществляемых в чистых помещениях. Определены основные факторы мониторинга процессов энергопотребления предприятий изготовления микроэлектроники. Проведен сопоставительный анализ различных методик прогнозирования энергопотребления предприятием, специализирующимся на производстве микроэлектроники. Установлено, что системы с нейронными сетями обеспечивают наиболее высокую устойчивость к воздействию внешних и внутренних возмущающих факторов. Предложено решение задачи прогнозирования потребления электроэнергии с использованием программного пакета Statistica Neural Network. Приведены результаты численного моделирования прогнозных и фактических значений энергопотребления чистыми помещениями электроинфраструктуры предприятия изготовления микроэлектроники на основе созданного программного алгоритма.