Optical interferometry for nanometer measurement of a large step

Abstract

白色干渉法とヘテロダイン干渉法を併用することによって, mmオーダの大段差をnmオーダの精度で計測することを試みた.まず最初にnm計測の誤差要因と要因別に誤差を列挙した.そして, これらの総合誤差が1.3nm程度に収まることを示した.つぎに, 5個の試料にっき8回の繰返し計測を実施した結果, データのばらつきは標準偏差で0.9nmであった.この値は, 各種の振動や試料の取付け姿勢等の影響を含んだものであり, 空気除振台と一体化鏡筒の利用による振動の低減, アクリルカバーによる空気のゆらぎと周囲騒音の低減, ステージ送り変動分の減算補正によって, 得られたものである.このほかに, 本方法では2個のウォラストンブリズムを背面対称に配列することによってアライメント調整が容易になり, かっ, ワークディスタンスを大きく自在に取れるという特長を得ることができた.