N. Uchida, O. Kuwabara, T. Tojyo, T. Higashiki, Yoshihiko Takahashi, H. Yoshino
{"title":"An Excimer Laser Stepper with Through-the-Lens Alignment.","authors":"N. Uchida, O. Kuwabara, T. Tojyo, T. Higashiki, Yoshihiko Takahashi, H. Yoshino","doi":"10.2493/JJSPE.59.1257","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"線幅0.5μm以下のLSIのデバイス開発を目的として,エキシマレーザ露光装置を試作し,その性能を評価した.本装置では,これまでエキシマレーザ露光装置では困難と考えられていたTTLアライメント系を搭載しアライメント性能の向上を計った.さらに,位置決め精度の向上のために,ウエハステージ系には露光ごとにウエハの傾きを補正する機構やXYステージの走行性能を補償するためのヨーイング補正機構を設けた.この結果,露光領域全域について0.35μm程度のパターンが解像し,0.1μmより良い重ね合わせ精度が得られた.これにより,本装置が線幅0.5μm以下のデバイス開発に有効であることが実証できた.","PeriodicalId":14336,"journal":{"name":"International Journal of The Japan Society for Precision Engineering","volume":"32 1","pages":"1257-1262"},"PeriodicalIF":0.0000,"publicationDate":"1993-01-01","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"1","resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"International Journal of The Japan Society for Precision Engineering","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.2493/JJSPE.59.1257","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"","JCRName":"","Score":null,"Total":0}
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