G. Coulon, B. Collin, D. Ausserré, D. Chatenay, T. Russell
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Abstract
Les copolymeres diblocs symetriques polystyrene/polymethylmethacrylate deposes sur un substrat de silicium, forment a l'equilibre thermodynamique, une structure multicouche parallele au substrat. Si la couche superieure est incomplete, des ilots ou des trous se forment dans celle-ci. Leur cinetique de formation et de croissance est etudiee par microscopie interferometrique in situ. Seuls les systemes denses (≃30% d'ilots ou de trous en taux de couverture) sont envisages. Aux temps courts, la formation des ilots est differente de celle des trous. Aux temps longs, la croissance des ilots et des trous est controlee par les memes mecanismes: croissance individuelle, coalescence et disparition
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