Fabrication of Aspheric Optics by Use of Plasma Chemical Vaporization Machining

1. はじめに 光学部品加工の歴史は古い. 眼鏡用としては13 世紀から, 顕微鏡や望遠鏡用としては16世 紀から 凸レンズや凹レンズが作られている. 現代の加工 法は, 本質的には当時のものと変わりがないとい う1). ところが現在, 最先端産業で使用される光 学部品には, 従来にない機能や高い精度が要求さ れており, それに伴つて新たな加工技術が求めら れるようになってきた. 最近になって, プラズマを利用した様々な超精 密加工技術が提案され始めた2-13). 森らによつて 考案されたプラズマCVM (Chemical Vaporizat ion Machining, 化学的気化加工法) は大気圧高周波プ ラズマを利用 したものである9-13). これは, 大気 圧下において電極のごく近傍だけに生成 したプラ ズマによって超精密加工を行おうというものであ る. このため, 機械加工にも比肩する高い加工の 空間分解能を有しながら, 化学反応によって除去 が行われるために, 機械加工では得られない加工 特性が期待できる. 特に, 光学特性に優れたレン ズやミラ. _を 効率よく加工できる可能性がある. そこで筆者らは, 新技術事業団 (現, 科学技術 振興事業団) の委託開発制度において, プラズマ CVMの 原理を適用した光学部品の超精密加工技術 について検討を行つた. これにより現在までに, 各種の光学部品を精度良く加工することに成功し ている. 本稿では, プラズマCVMに よる光学面の加工技 術について, 前記の委託開発制度の成果である大 口径非球面の高精度加工を例に解説する.