KARAKTERISTIK LITHIUM TANTALAT (LITAO3) DIDOPING NIOBIUM BERVARIASI SUHU

Telah dilakukan pendopingan Litium tantalat LiTaO3  dengan cerium oksida pada substrat Si Tipe –P (100) dengan metode chemical solution deposition dan spin coating dengan kecepatan 3000 rpm selama 30 seconds. LiTaO3 memiliki konsentrasi 2.5M dan suhu annealing 800 °C. Film tipis LiTaO3 dikarakterisasi dengan ocean optic spectroscopy. Hasil dari karakterisasi spektroskopi film lithium tantalat yang didoping cerium oksida terlihat puncak absorbansi tertinggi pada suhu annealing 800oC menghasilkan panjang gelombang 934 nm, puncak absorbansi tertinggi pada film lithium tantalat pada suhu annealing 800 oC dengan kata lain film LiTaO3 banyak menyerap energi foton dari cahaya yang mengenainya serta film tipis litium tantalat menjadi cikal bakal sensor infra merah