关于创建固态微机械系统的技术问题

Естественные и технические науки Pub Date : 2024-05-14 DOI:10.25633/etn.2024.03.09

П. С. Кузнецов

{"title":"关于创建固态微机械系统的技术问题","authors":"П. С. Кузнецов","doi":"10.25633/etn.2024.03.09","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"Проведен обзор и анализ современных технологий создания твердотельных микромеханических систем. Рассмотрены их основные особенности и главные отличия от технологий микроэлектроники. Выявлены наиболее распространённые и перспективные технологии.","PeriodicalId":425015,"journal":{"name":"Естественные и технические науки","volume":"77 14","pages":""},"PeriodicalIF":0.0000,"publicationDate":"2024-05-14","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"0","resultStr":"{\"title\":\"К ВОПРОСУ ТЕХНОЛОГИИ СОЗДАНИЯ ТВЕРДОТЕЛЬНЫХ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ\",\"authors\":\"П. С. Кузнецов\",\"doi\":\"10.25633/etn.2024.03.09\",\"DOIUrl\":null,\"url\":null,\"abstract\":\"Проведен обзор и анализ современных технологий создания твердотельных микромеханических систем. Рассмотрены их основные особенности и главные отличия от технологий микроэлектроники. Выявлены наиболее распространённые и перспективные технологии.\",\"PeriodicalId\":425015,\"journal\":{\"name\":\"Естественные и технические науки\",\"volume\":\"77 14\",\"pages\":\"\"},\"PeriodicalIF\":0.0000,\"publicationDate\":\"2024-05-14\",\"publicationTypes\":\"Journal Article\",\"fieldsOfStudy\":null,\"isOpenAccess\":false,\"openAccessPdf\":\"\",\"citationCount\":\"0\",\"resultStr\":null,\"platform\":\"Semanticscholar\",\"paperid\":null,\"PeriodicalName\":\"Естественные и технические науки\",\"FirstCategoryId\":\"1085\",\"ListUrlMain\":\"https://doi.org/10.25633/etn.2024.03.09\",\"RegionNum\":0,\"RegionCategory\":null,\"ArticlePicture\":[],\"TitleCN\":null,\"AbstractTextCN\":null,\"PMCID\":null,\"EPubDate\":\"\",\"PubModel\":\"\",\"JCR\":\"\",\"JCRName\":\"\",\"Score\":null,\"Total\":0}","platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"Естественные и технические науки","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.25633/etn.2024.03.09","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"","JCRName":"","Score":null,"Total":0}

引用次数: 0

摘要

对创建固态微机械系统的现代技术进行了回顾和分析。考虑了这些技术的主要特点以及与微电子技术的主要区别。确定了最普遍和最有前途的技术。

本文章由计算机程序翻译，如有差异，请以英文原文为准。

查看原文

微信好友朋友圈 QQ好友复制链接

本刊更多论文

К ВОПРОСУ ТЕХНОЛОГИИ СОЗДАНИЯ ТВЕРДОТЕЛЬНЫХ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ

Проведен обзор и анализ современных технологий создания твердотельных микромеханических систем. Рассмотрены их основные особенности и главные отличия от технологий микроэлектроники. Выявлены наиболее распространённые и перспективные технологии.

求助全文

通过发布文献求助，成功后即可免费获取论文全文。去求助

来源期刊

Естественные и технические науки

自引率

0.00%

发文量