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Laser Photon. Rev. | 封面文章：超表面赋能小型化三维纳米光刻

中国光学 2024-11-19 20:40
文章摘要
本文介绍了华中科技大学武汉光电国家研究中心的熊伟教授和高辉副教授团队提出的一种基于超表面的双光子聚合（M-TPP）三维纳米光刻技术。该技术通过引入全息多焦点超透镜，实现了小型化、集成化的TPP系统，显著简化了传统复杂的光学系统，同时提高了打印分辨率和均匀性。研究结果表明，M-TPP系统能够制造具有亚衍射极限特征尺寸的3D微纳结构，具有广泛的应用前景，尤其是在超材料、传感器和微型机器人等领域。该研究成果发表在《Laser & Photonics Reviews》，并被选为封面文章，展示了超表面在激光精密制造中的巨大潜力。
Laser Photon. Rev. | 封面文章：超表面赋能小型化三维纳米光刻
查看文献： 3D Nanolithography via Holographic Multi-Focus Metalens
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